メーカー情報
MPI-AST部門案内
MPI Corporation(エムピーアイコーポレーション)は、1995年に設立台湾の新竹に本社を置く台湾で初の台北証券取引所（TPEx）に上場企業で、その主力部門のMPI Advanced Semiconductor TestとIMCは強力なパートナーです。日本国内に最先端半導体テストソリューションを提供いたします。
Device Characterization for Modeling and Process Development
AST部門の紹介
アドバンスト・セミコンダクター・テスト（AST）部門は以下のソリューションを持ちます。
MPI ASTは、LEDテスト装置においても世界的なマーケットリーダーとして、24時間365日稼動可能な10,000台以上のシステムをグローバルに設置しています。
AST部門の経営陣は、数十年にわたるエンジニアリング・プローブ・システム市場の専門知識を有しています。
半導体デバイス・モデリングは、基本的な物理学、形状、設計、動作条件に基づいて、離散的なデバイス（トランジスタ、インダクタ、ダイオードなど）の動作モデルを作成します。
重要なステップの1つは、このようなデバイスの非常に正確な電気的オン・ウエハー測定を行うことであり、このステップは一般にデバイス特性評価として知られています。
新しいデバイス技術、新材料、プロセス開発、統合の出現に後押しされ、デバイス特性評価プロセスは、より高度なデバイスの電気的テストや、より大量のデータ抽出において、増大する課題に直面しています。
基本的なデバイスの特性評価とモデリングには、温度制御されたEMIシールドされたテスト環境下でのデバイスの正確なI-V/C-V、1/f、RTN、RF、mmW、ロードプル、ノイズ測定が必要です。
典型的な技術的課題には、測定の再現性、信頼性の高いプローブ接触、内部または外部ノイズの影響、プローブとチャックの電流リーク、システムの熱性能、さまざまな温度でのテスト、ソーキング時間の短縮、デバイスと各種測定器間の正しい電気接続などがあります。
より多くのデータ抽出に対する要求は、デバイス特性評価プロセスにおける、より多くの自動化が必須で、あらゆる技術的ニーズに加えて、テストセル効率の向上や自動化レベルの向上による全体的な試験コストの削減が、主要なコスト要件となります。
MPI-ASTのソリューション
MPI-ASTのプローブ・システムは、最大の信頼性をもって正確な測定結果を提供できるように設計されています。
同軸、三軸測定接続、-60～300℃の温度範囲でサーマルチャック、優れた熱分布、EMIシールド、光密閉テスト環境などの専用アクセサリーを備えたShielDEnvironment™付きMPIプローブシステム（TS200-SE、TS2000-SE、TS300-SE、TS3000-SE、そしてTS3500-SE）は、正確なデバイス特性評価を行うための心臓部です。
テストフローの最適化、新しいAirCool® PRIMEサーマルチャックによるソーキング時間の短縮、あるいはホット/コールドウェーハのスワッピングは、テストセル効率を高めながらテスト時間を短縮するためのMPIの代表的なソリューションです。
MPIのWaferWallet®は、測定能力を損なうことなくTS3500-SEの自動化を拡張します。これは、全自動テスト用の150mm、200mm、300mmの「モデリング」ウェーハを手動で、人間工学的にローディングするための5つの個別トレイで設計されています。
デバイスモデリング用の完全なRF測定ソリューションは、MPIの校正ソフトウェアQAlibria®とMPI RFプローブを使用することにより、最大110 GHzまでの高精度RF測定結果と校正を提供します。
【信頼】
MPI社の最も重要な原則です。全てのお客様との長期的なパートナーシップとコラボレーションを追求致します。MPI社は、有言実行を信条とします。
【目標】
当社とMPI社のパートナーとしての企業活動は「お客様のために、より良い商品とサービス、トータルソリューションを提供する」ことを目的としています。当社は、MPI製品だけでなく、パートナー企業を含めた製品で、お客様の問題を素早く解決し、周辺技術も組み合わせてお客様のビジネス競争力を高めます。
【長期的ビジョンと協力】
MPI社のポリシーは、プロフェッショナリズムの重要性を強調し、技術とグローバルな専門知識の開発を奨励します。MPI社は、長期的なプランニングを重視し、短期的な進歩を大切にします。MPI社は、お客様の目標達成を支援します。当社とMPI社はお客様の問題を共有し、解決するためのソリューションを確実なものにします。
主要技術
TITAN™ Probe Technologies
MEMS チップ
精密製造のMPI TITAN™プローブは、完璧に整合した50Ω MEMSコンタクトチップが組み込まれています。優れたプローブ電気特性（少ない挿入損失とクロストーク、高いリターンロス）により周波数ミリ波迄の範囲にわたって、比類のない校正と測定結果を保証します。
ユニークなコンタクト構造
MPI TITAN™ RFプローブは、各社で供給されるチップと異なり、ユニークな先端設計により、先端コンタクトの優れたリアルタイム視認性を実現しています。
経験の浅いオペレータでも、プローブのアライメントマークを使用することなく、校正用標準器やDUTパッド上にRFプローブを高精度に位置決めできます。また、MPI独自の技術により、プローブ先端を7°～30°角度を自由につけることにより、針の損傷を最小限にします。
なお、ご注文の際に角度のカスタムが無料で可能になっています。それに加え、ご購入後のプローブの修理も無料にて行っております。
品質へのこだわり
MPI TITAN-RCプローブはRF TITANプローブのファミリーの新技術で、このプローブは、コンタクトチップの幅を33%縮小し、20μmとしました。TITAN-RCプローブは、RFデバイスやICのパッドサイズをさらに縮小するという業界のトレンドに完全に合致しており、次世代RFおよびミリ波シリコンデバイスやICのテストコストを大幅に削減します。TITAN-RCプローブは、最小30 x 35 μmのAlパッド・メタライゼーションが施されたSiデバイスに対して、正確で再現性のある測定結果を得ることを可能にします。
TITAN-RCプローブは、プローブピッチ50μmから300μmのGSGチップ構成可能
卓越した製品寿命
TITAN™プローブ・テクノロジーの最大の特長のひとつ
均一な磨耗です。何十万回ものプローブ・サイクルを繰り返すと、プローブ先端の長さは自然に短くなります。しかしMPI独自のプローブ設計により、電気的特性は変化しません。従って、TITAN™プローブの寿命は、他のプローブ技術の寿命よりも圧倒的に優れていますので交換回数も大幅に削減できます。
製品の一部紹介 110GHzプローブ
220GHzプローブ例
ハイパワー用途
パワートランジスタ、パワーダイオード、サイリスタなどの大電力ディスクリートデバイス測定。
MPIでは10 kV (同軸)、400 A (パルス)、300 °Cまでの高温を含むハイパワーデバイスの正確な測定を提供します。MPIの金メッキハイパワー・サーマルチャックは、チャック全体に均等に配置された真空孔により、50μmまでの薄くて反ったウェーハを安全に固定します。また、これらのハイパワーチャックは、垂直デバイスのRDS(on)測定のための低接触抵抗を達成しながら、優れた裏面ウェーハ接触を提供します。
マルチコンタクト大電流プローブ（HCP）は、プローブの接触抵抗を低減するだけでなく、電流を分散させることにより、通常シングルニードルプローブに伴うデバイスパッドの焼損を回避します。MPIの高電圧プローブ(HVP)は、最大10kVまで耐えられるように設計されており、低リーク電流のデバイス破壊測定に適しています。UHPプローブはこの両方の機能を兼ね備えており、高電圧と電流のアプリケーションでプローブを交換する必要がありません。
MPIの自動プローブシステムシリーズは、特に製造レベルでのハイパワーデバイスのテストに対応するために開発されました。本システムは、24時間365日の生産信頼性を実現し、すべてのMPIシステムアクセサリに対応しています。
ミリ波及びTHzアプリケーション専用システム
MPI TS150-THZエンジニアリング・プローブ・システムは、サブTHz帯の基板および150mmウェーハの精密分析用に特別設計のマニュアル・プローブ・システムです。
このシステムは非常に安定しており、大きなプローブプラテンと薄型設計を備えています。これらの基本要素は、220GHzまでの広帯域、1.1THzまでのバンドソリューション、ロードプル、RFノイズなど、さまざまなRFおよびmmWアプリケーションをサポートするために必要です。
TS150-AITと TS200-THZプローブ・システムは、同じプローブ・ステーションにアクティブ・インピーダンス・チューナーを統合することで、新たなTHzアプリケーション向けのMPI独自のシステム・ソリューションを拡張します。これら2つのシステムは、業界で初めて明確に設計された150mmと200mmのプローブ・システムであり、mm波、THz、自動インピーダンス・チューナー・アプリケーションの要件を組み合わせた正確なテストを、可能な限り最高の測定指向性で提供します。
最新ニュース
MPI Corporation 半導体テスト部門が Keysight Technologies のソリューションパートナーとして提携
2024年3月11日 - 半導体テストのグローバルリーダーであるMPIコーポレーションは、市場をリードする設計、エミュレーション、テストソリューションを提供するグローバルイノベーションパートナーであるキーサイト・テクノロジーとの画期的なパートナーシップを発表。この提携は、MPIのアドバンスト・セミコンダクター・テスト（AST）部門にとって重要な節目で、半導体テスト業界において強力なパートナーとなります。
戦略的提携によるイノベーションの促進
MPI（AST）部門とキーサイトとの戦略的パートナーシップは、相互のイノベーション、顧客中心のソリューションの提供への注力、半導体テスト業界の推進へのコミットメントを基盤として構築されています。両社の専門知識とリソースを結集することで、半導体テスト技術における新たな時代を目指します。「MPIコーポレーションのアドバンスド・セミコンダクター・テスト（AST）部門ジェネラル・マネージャーのStojan Kanev博士は、「キーサイトと提携できることを誇りに思います。この協業は、我々のチームのたゆまぬ努力と卓越性の絶え間ない追求の証しです。我々は共に業界の新たな基準を設定し、お客様が最も革新的で費用対効果の高いテストソリューションを利用できるようにしていきます。「キーサイトのVAR/MSSPプログラム・ディレクターであるシェリー・ウェンツェルは、次のように述べています。「今日の非常に複雑で高密度に集積されたチップは、半導体テストをより重要で困難なものにしています。「MPIとKeysightの両社の強みを活用することで、現在も将来も進化し続ける半導体業界のニーズに対応するテストソリューションを提供することができます。
半導体テストにおける革新と価値の推進
キーサイトのソリューションパートナープログラムの一員として、MPI ASTは両社の強みを活かし、半導体テスト業界に最先端のソリューションを提供していきます。この協業は以下の点に重点を置いています：
- コラボレーションと成長：協業と成長：半導体業界の進化するニーズによりよく応えるため、協業による成長と革新を重視したパートナーシップを育みます。
- 専門知識の共有：両組織の専門知識とリソースを結集し、品質と卓越性を体現する比類のないソリューションを提供する。
- 効率とコスト削減：性能に妥協することなく、テスト効率の向上と顧客の運用コスト削減を目指したソリューションを開発する。
